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電子顯微鏡在材料科學(xué)上的應(yīng)用-上海光學(xué)儀器一廠

信息分類：生命科學(xué)小百科　　　　作者:YIYI發(fā)布　

電子顯微鏡在材料科學(xué)上的應(yīng)用

利用電子顯微鏡的強(qiáng)大功能，在整個(gè)科學(xué)研究上提供研究者諸多的訊息，

了解材料的特性、表面型貌、剖面狀態(tài)、晶粒分佈、晶粒大小、薄膜厚度等

化學(xué)組成定量分析、元素成份、不純物的含量及均可從電子顯微鏡的分析上得知。材料與電子

束交互作用，所產(chǎn)生的訊號(hào)特征與強(qiáng)度，有助于了解入射電子束與試片原子序大小的影響。

因此，所獲得的影像與訊號(hào)，對(duì)試片材料的性質(zhì)、成份、型態(tài)，做正確的判斷與分析。

為單層Ti鍍膜試片之SEM影像，多層膜試片之SEM影像，可由圖片中了解晶粒顆粒大小及從剖面圖中了解Ti鍍膜厚度等，

眾多的資訊有助于了解薄膜成長(zhǎng)狀態(tài)及特性

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