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微電子元件的應(yīng)用-微機(jī)電(MEMS)之體型微加工技術(shù)

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

微懸臂樑感測是目前生化、生醫(yī)之熱門微量偵測技術(shù)之一。

利用矽在DRIE的等向性蝕刻的特性，以微機(jī)電(MEMS)之體型微加工技術(shù)在n-type的SOI晶圓制作出懸臂式的結(jié)構(gòu)，

再以離子植入將硼doping在結(jié)構(gòu)上。將壓阻佈局成惠司通電橋平衡的方式，再

加入雜訊、自我溫度補(bǔ)償和自我校正功能，就可完成一個(gè)微流量感測器(Sensor)以進(jìn)行測試。

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