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納米陶瓷材料顯微結(jié)構(gòu)需使用電子掃描顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

薄膜鐵電材料，在非易失性鐵電存貯器及微電子機(jī)械系統(tǒng)中，

有很廣泛的應(yīng)用前景。高密度的鐵電存貯器，

單元尺寸已減小到30一100nm:在這樣小的亞微米

尺度上，需要了解材料內(nèi)微區(qū)物理性質(zhì)，

如鐵電疇的形成，極化反轉(zhuǎn)機(jī)制，極化疲勞、極化保持和退化、老化行為。

利用以原子力顯微鏡為基礎(chǔ)的掃描探針顯微術(shù)，就能滿

足以上檢測(cè)目的，其分辨率達(dá)30 nm左右，

能觀測(cè)到極化反轉(zhuǎn)的細(xì)節(jié)，這對(duì)改進(jìn)性能退化指出了途徑。

另外，要了解納米陶瓷材料顯微結(jié)構(gòu)，一般也離不開這類顯微鏡。

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