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晶圓表面光源分析用光學(xué)圖像顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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晶圓表面光源分析用光學(xué)圖像顯微鏡

發(fā)光源的模糊

    發(fā)光源較小時(shí)，其象面基本上呈現(xiàn)出點(diǎn)列圖的形狀以及
光源本身的分布特性，因此，即使存在象散和彗差，也可以看
到其象面情況與設(shè)計(jì)值的對(duì)應(yīng)關(guān)系是相當(dāng)好的。當(dāng)光源變大
時(shí)，光源上各個(gè)點(diǎn)都表現(xiàn)出和點(diǎn)列圖相同的象，其集合構(gòu)成
了整個(gè)邊緣的模糊。例如，夜晚遠(yuǎn)處的圓形光源成象時(shí)，在
象面上能直接看到彗差和象散的形狀。

B具有不連續(xù)特征的被攝物體的模糊

    在被攝物體一側(cè)，對(duì)景深范圍之外的被攝物體經(jīng)物鏡成
象后，在共感光膠面上總要呈現(xiàn)出某種模糊的現(xiàn)象。為了避免
這種模糊，要么充分地縮小光圈;要么采用調(diào)焦在超焦點(diǎn)處
的方法。但是，有時(shí)在拍風(fēng)景照片時(shí)，需要突出的景物有好幾
個(gè)，或者以人物為調(diào)焦目標(biāo)時(shí)，其它景物有可能產(chǎn)生模糊。
這時(shí)，若再考慮被攝物體象的位置和距離時(shí)，點(diǎn)列圖如何變
化，邊緣響應(yīng)函數(shù)怎樣，邊緣模糊是如何影響的等等，這些
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