金相顯微鏡-顯微鏡

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顯微鏡明場和暗場顯微鏡觀察用來觀察不同樣品

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

1。暗斑:各種臟物、雜質(zhì)經(jīng)常會(huì)在掩膜表面上形成暗斑，

它們可能是灰塵、光刻膠的薄片、棉絨、頭發(fā)或玻璃碎片，所以

應(yīng)該隨時(shí)仔細(xì)地加以清洗，以去除那些隨機(jī)分布的暗斑。

2,溶劑斑。溶劑斑是一些在顯微鏡明場下可見的掩膜上的

色斑，當(dāng)掩膜版流入圓片生產(chǎn)線之后，這些溶劑斑將會(huì)復(fù)印到圓

片上。溶劑斑是清潔的溶液或其他溶劑材料揮發(fā)后的殘留物。一般

來說，只要經(jīng)過仔細(xì)的清洗過程，都能去除溶劑斑、暗斑和玻璃

碎片等。可以使用機(jī)械的刷子進(jìn)行清洗，也可以使用帶有超聲或

不帶超聲的高壓噴射進(jìn)行清洗。

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