采用使試樣表面每一點(diǎn)都可以整個(gè)照射的方法
采用使試樣表面每一點(diǎn)都可以整個(gè)照射的方法,上述缺點(diǎn)可
以消除,該方法由科勒發(fā)明,科勒照明法遵循以下兩個(gè)準(zhǔn)則。
1 、光源通過會(huì)聚透鏡在聚光器的焦平面上成像,因此,從
一點(diǎn)出發(fā)的光線通過聚光器后互相平行,光線和試樣(表面)發(fā)
生交互作用,通過物鏡之后,非衍射的平行光線會(huì)在物鏡的焦平
面會(huì)聚并發(fā)生光源的二次成像,在這里,光通過試樣發(fā)生衍射進(jìn)
而生成試樣的衍射花樣。
2 、聚光器可以同時(shí)在試樣表面形成可變光圈,即在聚透鏡
附近的視場光圈,采用這種方法,試樣光照部分就可以限制在視
場之內(nèi),這樣就避免了與視場之外的“虛假”光線發(fā)生干涉,這
些光線來自試樣的結(jié)構(gòu)特征和
顯微鏡中透光部分衍射的作用。最
后,可變光圈即孔徑光圈被放置在聚光器的焦平面,這就可以控
制照射試樣的光線的孔徑角,而分辨能力和視場深度取決于孔徑
角。