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液相和氣相外延工藝均能生產(chǎn)高純度材料材料制備

信息分類(lèi)：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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液相和氣相外延工藝均能生產(chǎn)高純度材料材料制備


外延系統(tǒng)的目前趨向

    直到最近為止，材料制備中的最重要之點(diǎn)，仍然是朝著均勻
摻雜、高純度和高質(zhì)量外延層的方向發(fā)展，這就導(dǎo)致了對(duì)液相或
氣相外延的優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行比較的大量討論。目前的趨勢(shì)是朝著制備更
為復(fù)雜的層結(jié)構(gòu)的方向發(fā)展，要求生長(zhǎng)系統(tǒng)做出大量的動(dòng)力學(xué)響
應(yīng)——復(fù)雜的結(jié)、亞微米緩沖區(qū)和選擇外延。這些要求著重強(qiáng)調(diào)
于兩種主要方法的不同性能，因而導(dǎo)致更新方法的研究，以獲得
滿(mǎn)足器件要求的層結(jié)構(gòu)。氣相外延和液相外延仍然是最適用的工
業(yè)工藝流程。

高純系統(tǒng)
    只要細(xì)心操作，液相和氣相外延工藝均能生產(chǎn)高純度材料，
主要的差別在于所用的機(jī)械和經(jīng)濟(jì)效果。
    因?yàn)橛靡合嗤庋涌梢垣@得比較快的生長(zhǎng)速度，所以可在比較
短的時(shí)間內(nèi)生長(zhǎng)出厚層和具有比較高的均勻性——時(shí)間過(guò)長(zhǎng)反應(yīng)
器就不穩(wěn)定。然而，氣相外延系統(tǒng)憑其能比較容易地同時(shí)生長(zhǎng)許
多片的特點(diǎn)而得以充分發(fā)揮其成批生產(chǎn)的經(jīng)濟(jì)優(yōu)點(diǎn)，并促進(jìn)了片
與片之間的良好的重復(fù)性。
    通過(guò)液相外延來(lái)達(dá)到表面完整和厚度控制是比較困難的。液
相外延所具有的剩余雜質(zhì)似乎與氣相外延有所不同。
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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