電子透鏡與電子槍
電子
顯微鏡是由鏡筒,真空系統(tǒng)和電源柜三個部分組
成的,鏡筒主要有電子槍,電子透鏡,樣品架,照相
機構(gòu)等等部件。
電子透鏡是電子顯微鏡鏡筒中最重要部件,它用一個
對稱于鏡筒軸線的空間電場或是磁場使得電子軌跡向
軸線彎曲形成聚焦,其作用與玻璃凸透鏡使得光束聚
焦的作用相似。
電子槍則是由絲熱陰極,棚極和陰極構(gòu)成的部件,它
能夠發(fā)射出并形成速度均勻的電子束,所以加速電壓
的穩(wěn)定度要求不低于萬分之一。
電子顯微鏡按照結(jié)構(gòu)和用途則可分為透射式電子顯微
鏡,掃描式電子顯微鏡,反射式電子顯微鏡與發(fā)射式
電子顯微鏡。