標(biāo)本檢驗(yàn)前的準(zhǔn)備工作
對(duì)于掃描式電子
顯微鏡發(fā)明來(lái)說(shuō)則是在二十世紀(jì)六十年
代問(wèn)世的,目前情況下掃描式電子顯微鏡分辨力可以達(dá)
到六到十厘米。
而對(duì)于掃描式電子顯微鏡工作原理則就是由電子槍發(fā)射
出的精細(xì)聚焦電子束經(jīng)過(guò)兩級(jí)聚光鏡、偏轉(zhuǎn)線圈與物鏡
射到樣品標(biāo)本表面上。
同時(shí)掃描樣品標(biāo)本表面時(shí)并激發(fā)出次級(jí)電子,次級(jí)電子
的產(chǎn)生量與電子束入射角相關(guān),則就是與樣品標(biāo)本表面
的結(jié)構(gòu)相關(guān)。
因此次級(jí)電子經(jīng)過(guò)探測(cè)收集后,由閃爍器轉(zhuǎn)換為光信號(hào)
,再經(jīng)過(guò)光電倍增管與放大器轉(zhuǎn)變成為電信號(hào)來(lái)進(jìn)行控
制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描
圖像。