通常在顯微鏡鏡筒中所有的電磁透鏡均是位于樣品標(biāo)
本上面的,這主要是起聚焦電子束的作用。
而且同時(shí)一直工作在聚集狀態(tài),形成的電子束則比顯
微鏡鏡筒細(xì)三個(gè)數(shù)量級,可以達(dá)到三到十或是更加細(xì)
的。
所以有了探針之稱,掃描系統(tǒng)控制著探針在樣品標(biāo)本
表面逐點(diǎn)逐行進(jìn)行掃描,使得二次電子逐點(diǎn)逐行從樣
品標(biāo)本表面逸出。
在適當(dāng)控制其變量加速電壓等等,同時(shí)制備樣品標(biāo)本
使得質(zhì)量具有一致性的條件下可以使得樣品標(biāo)本二次
電子逸出率取決于樣品標(biāo)本表面形貌參數(shù)。