用FE-SEM儀器觀察,金屬點(diǎn)的分布情況下討論在成長(zhǎng)金屬點(diǎn)陣
是以直流濺鍍白金以及熱阻絲蒸鍍鋁的差異。
可以看出在舉離后,所留下的較暗的痕跡明顯與奈米球舉離前的六方最密堆積
之圖案近似,且暗點(diǎn)中心間距與奈米球的大小接近,
因此可以判斷較亮的部份為白金膜,只是白金膜彼此相連并未成島狀分布圖案。
相較于的蒸鍍鋁膜舉離后的結(jié)果,可明顯看出深色圓形圖案與奈米球原先的
大小及分布均相同,較亮的部份則為舉離后留下了的鋁膜,呈現(xiàn)近似三角形的點(diǎn)
狀陣列。此兩種結(jié)果的不同,可能的原因是濺鍍是在較高的壓力下(約50 mTorr) ,
粒子的平均自由徑較短,因此金屬原子容易因相互碰撞而擴(kuò)散,
以致于奈米球無(wú)法有效作為遮罩遮蔽金屬原子,因此鍍上的白金彼此相連,
舉離后無(wú)法留下島狀陣列。而在蒸鍍中,壓力小于10-5 Torr,平均自由徑可長(zhǎng)達(dá)
數(shù)十cm,因此奈米球可成功的遮蔽金屬原子,而鍍上鋁膜可成功的留下與理論所
預(yù)期相同的金屬點(diǎn)陣列。不過(guò)對(duì)于舉離前的奈米球完整區(qū)域,
在舉離后留下的規(guī)則金屬點(diǎn)陣列區(qū)域不如預(yù)期的多,
在這一方面的實(shí)驗(yàn)需要更進(jìn)一步的努力空間