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測(cè)量和記錄有凹凸不平形狀的樣品的工具顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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測(cè)量和記錄有凹凸不平形狀的樣品的工具顯微鏡

    用以測(cè)量和記錄有凹凸不平形狀的放大記錄裝置有機(jī)械式和
電動(dòng)式二種。前者由機(jī)械杠桿包括光杠桿，把位移量加以放大，
將記錄筆作為一個(gè)放大杠桿用;后者，把位移量轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)，
利用這放大后的信號(hào)，使振動(dòng)頭或記錄筆動(dòng)作。

    這些方法中不論哪種方法，簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)，幾乎都用簡(jiǎn)單杠桿
組成，所以除了有縱向放大倍率的變化外，還有記錄圖形的失真。
下面敘述一下這種機(jī)構(gòu)。

    利用接觸式檢測(cè)裝置連續(xù)測(cè)量形狀時(shí)，
錄圖形的失真問題同時(shí)成為問題的是:測(cè)量頭及和它相連結(jié)的一
系列的放大機(jī)構(gòu)應(yīng)該按照形狀的凹凸不平，必須毫無差錯(cuò)地迫隨
著。

對(duì)提高測(cè)量效率，在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行形狀測(cè)量時(shí)，亦即是在接受測(cè)
量頭運(yùn)動(dòng)頻率高的時(shí)候就成為一個(gè)重要的問題了。

    因此，為了解決這個(gè)問題，在這一章里就以杠桿為主體的放
大機(jī)構(gòu)中的動(dòng)態(tài)測(cè)定力(以下簡(jiǎn)稱為測(cè)定力)和跟隨特性問題，
在理論上加以研究，并通過實(shí)驗(yàn)來論證，以求得在機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)上必
要的各種關(guān)系。這對(duì)高效率的形狀測(cè)定器檢測(cè)裝置機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)說來
是必要的基礎(chǔ)資料。
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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