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掃描電聲顯微鏡是自行研制一種新型顯微成像工具

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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掃描電聲顯微鏡是自行研制一種新型顯微成像工具


SEAM成像的基本物理過程

    當(dāng)一束電子入射到樣品上時，電子與樣品發(fā)生相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，這些效
應(yīng)就構(gòu)成了各種成像的信息基礎(chǔ)。根據(jù)所獲得的不同信息進(jìn)行成
像，就產(chǎn)生了各種各樣的電子顯微鏡。在以上的各種信息中，如果利用掃描電子顯
微鏡技術(shù)檢測從樣品背面?zhèn)鞒龅穆暡�，就形成了掃描電聲顯微鏡技術(shù)。如果以熱
波耦合機(jī)制為基礎(chǔ)，掃描電聲顯微鏡成像的基本物理過程如下：當(dāng)～束強(qiáng)度受調(diào)制
的電子束入射在樣品表面上時，在距樣品表面一定的距離內(nèi)，電子與樣品發(fā)生相互
作用，電子的部分能量(大約40％～80％)將轉(zhuǎn)化為樣品的熱能。理論分析表明，
電子損失能量的區(qū)域大致為一球形，在這球形區(qū)域內(nèi)，由于電子的能量是按一
定頻率調(diào)制的，故它相當(dāng)于一個瞬時熱源，這熱源的溫度變化也同步于調(diào)制頻率而
改變，其性質(zhì)類似一熱波

掃描電聲顯微鏡是自行研制的一種新型顯微成像工具，整個系統(tǒng)最終實(shí)現(xiàn)了
用計(jì)算機(jī)進(jìn)行電聲信號采集和圖像處理。
(1)電子束發(fā)生器；(2)電子束強(qiáng)度調(diào)制器；(3)電聲信號處理器；(4)試樣和探測
器組件；(5)圖像顯示器；(6)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。
    掃描電聲顯微鏡在掃描電鏡第一級透鏡前加了一對偏轉(zhuǎn)板，由脈沖功率放大
器控制。偏轉(zhuǎn)板上的周期調(diào)制信號使電子束能量進(jìn)行周期性的變化。樣品背面有
一PZT型壓電探測器接收電聲信號。從探測器接收的信號非常微弱，經(jīng)前置放大
器處理后送往鎖相放大器，然后再送往圖像顯示器或經(jīng)計(jì)算機(jī)處理后進(jìn)行電聲成
像。由于掃描電聲顯微鏡同時具有普通掃描電鏡的功能，因此，可以同時觀察樣品
的電聲像和二次電子像。

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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