對于掃描電子顯微鏡的工作原理來說,則是能在進(jìn)行光
柵掃描后再進(jìn)行一個逐點(diǎn)成像的原理進(jìn)行的。
因此在這種情況下掃描電子顯微鏡加速高壓作用下將電
子槍發(fā)射出的電子經(jīng)過許多級的電磁透射匯集成一個細(xì)
小的電子束。
同時在末級透鏡上進(jìn)行掃描線圈的作用下,可以使得電
子束在試樣表面上作光柵掃描。
因此掃描電子顯微鏡入射電子與試樣表面間的相互作用
產(chǎn)生二次電子、背散射電子等各種信息,對于這些信息
則被不同的接收器接收經(jīng)過放大后則調(diào)制屏幕上。