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熱壓鍵合法熱壓鍵合是焊接晶體管和集成電路檢測技術(shù)

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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熱壓鍵合法熱壓鍵合是焊接晶體管和集成電路檢測技術(shù)

(1)熱壓鍵合法

(2)超聲鍵合法。
    這兩種方法都是直接利用熱能，或?qū)⒊暀C(jī)械振動發(fā)出的熱
能進(jìn)行變換的固相鍵合法。沒有熱損耗的超聲鍵合主要用作有線
鍵合，在混合集成電路芯片的鍵合中則兩者都采用。
    (1)熱壓鍵合法熱壓鍵合是焊接晶體管和集成電路時用
得最普遍的一種固相鍵合法。這種方法是，使整個元件和襯底加
熱，在鍵合部位適當(dāng)加壓，使被鍵合材料的一方或雙方發(fā)生塑性
流動，進(jìn)行無液態(tài)的鍵合。

    采用熱壓鍵合時，被鍵合金屬的表面處理問題是很重要的。
也就是說，被鍵合金屬表面有氧化膜或吸附潮氣、油脂等沾污時
都會形成妨礙金屬接觸的阻擋層。形成這種阻擋層的膜后，雖然
靠熱壓鍵合操作中的壓力和橫向移動可以清除掉一些，但不如加
機(jī)械振動的情形，所以有必要在鍵合前用化學(xué)還原或溶解等方法
除掉界面的污物。固相鍵合的本質(zhì)問題并不是被鍵合金屬問原子
的移動，而是在兩種金屬的界面上原子的相互擴(kuò)散�？繑U(kuò)散可以
提高焊接強(qiáng)度，但是，也有例外情況，會生成象Au2A1那樣的
金屬間化合物，叫做自斑或紫斑。這種化合物和加熱溫度以及時
間有關(guān)，例如采用同一種金屬一一金，或適當(dāng)控制操作溫度和存
放溫度，就可避免產(chǎn)生這種化合物。熱壓鍵合一般有下述三種方
法：
    1)球焊法；
    2)縫焊法，
    3)楔焊法。

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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